X熒光光譜分析是現(xiàn)代常規(guī)分析中的重要方法，利用原級(jí)X射線光照射待測物質(zhì)中的原子，使之產(chǎn)生次級(jí)X射線熒光，從而進(jìn)行物質(zhì)的成分分析和化學(xué)態(tài)研究。
事實(shí)上，根據(jù)性能和應(yīng)用范圍，可以將X熒光光譜儀分為幾種，實(shí)驗(yàn)室使用的臺(tái)式X熒光光譜儀，小型便攜式X熒光光譜儀，手持式X熒光光譜分析儀及工業(yè)用儀器。
X熒光分析儀的定性和半定量分析具有譜線簡單、無損檢測、操作簡便、快速檢測、易克服基體的吸收和增強(qiáng)效應(yīng)等優(yōu)點(diǎn)，使用手持式X熒光光譜儀或者便攜式X熒光分析儀可在野外和現(xiàn)場進(jìn)行分析檢測，這是實(shí)驗(yàn)室儀器所不能做到的。
實(shí)驗(yàn)室用X熒光光譜儀
定量分析可分為兩類，即實(shí)驗(yàn)校正法（或稱標(biāo)準(zhǔn)工作曲線法）和數(shù)學(xué)校正法。它們都是以分析元素的X熒光（標(biāo)識(shí)線）強(qiáng)度與含量具有一定的定量關(guān)系為基礎(chǔ)的。70年代以前，數(shù)學(xué)校正法發(fā)展較慢，主要用于一些組成比較簡單的物料方面；大量采用的是實(shí)驗(yàn)校正法。其中常用的有外標(biāo)法、內(nèi)標(biāo)法、散射線標(biāo)準(zhǔn)法、增量法、質(zhì)量衰減系數(shù)測定法和發(fā)射-吸收法等。70年代以后，隨著X熒光分析理論和方法的深入發(fā)展，以及儀器自動(dòng)化和計(jì)算機(jī)化程度的迅速提高，人們普遍采用數(shù)學(xué)校正法。其中主要包括經(jīng)驗(yàn)系數(shù)法、基本參數(shù)法和經(jīng)驗(yàn)系數(shù)與基本參數(shù)聯(lián)用法等。應(yīng)用這些方法于各種不同分析對(duì)象，可有效地計(jì)算和校正由于基體的吸收和增強(qiáng)效應(yīng)對(duì)分析結(jié)果的影響。對(duì)于譜線干擾和計(jì)數(shù)死時(shí)間，也可以得到有效的校正。這些方法除基本參數(shù)法外，一般都比較迅速、方便，而且準(zhǔn)確度更高。在許多領(lǐng)域中，無論是少量或常量元素分析，其結(jié)果足與經(jīng)典的化學(xué)分析法媲美，因而在常規(guī)分析中，X熒光分析法和原子吸收光譜法、等離子體光譜分析法一起，并列為儀器分析的主要手段。