X熒光光譜儀是一種基于XRF(X Ray Fluorescence,X射線熒光)光譜分析技術的光譜分析儀器，具有、便攜、準確等特點。
熒光光譜儀的應用非常廣泛，涉及：電力、石化、考古、金屬加工、壓力容器、廢舊物資回收、航空航天、地質勘探、礦山測繪、開采、礦石分選、礦產貿易、金屬冶煉、環境監測、土壤監測、玩具、服裝、鞋帽、電子產品等眾多領域。那它是由哪些組成部分構成的呢，主要有由光源、單色器（濾光片或光柵）、狹縫、樣品室、信號檢測放大系統和信號讀出、記錄系統組成。
光源用來激發樣品，單色器用來分離出所需要的單色光，信號檢測放大系統用來把熒光信號轉化為電信號，聯結于放大裝置上的讀出裝置用來顯示或記錄熒光信號。
X熒光光譜儀的組成
1.激發光源
理想化的激發光源：由于熒光體的熒光強度與激發光的強度成正比，因此，作為一種理想的激發光源應具備：①足夠的強度；②在所需光譜范圍內有連續的光譜；③其強度與波長無關，即光源的輸出應是連續平滑等強度的輻射；④光強要穩定。符合這些要求的光源實際上并不存在。可作為激發光源的主要有氙燈、汞燈、氙-汞弧燈、激光器以及閃光燈。高壓氙弧燈是熒光光譜儀中應用zui廣泛的一種光源。
2.單色器和濾光片
單色器的主要作用是把光源發出的連續光譜分解成單色光，并能準確方便地“取出”所需要的某一波長的光，它是光譜儀的心臟部分。單色器主要由狹縫、色散元件和透鏡系統組成，其中色散元件是關鍵部件。色散元件是棱鏡和反射光柵或兩者的組合，它能將連續光譜色散成為單色光。
棱鏡單色器：棱鏡單色器是利用不同波長的光在棱鏡內折射率不同將復合光色散為單色光的。棱鏡色散作用的大小與棱鏡制作材料及幾何形狀有關。常用的棱鏡用玻璃或石英制成。可見分光光度計可以采用玻，它適用于紫外、可見整個光譜區。
光柵單色器：光柵作為色散元件具有不少獨特的優點。光柵可定義為一系列等寬、等距離的平行狹縫。光柵的色散原理是以光的衍射現象和干涉現象為基礎的。常用的光柵單色器為反射光柵單色器，它又分為平面反射光柵和凹面反射光柵兩種，其中zui常用的是平面反射光柵。光柵單色器的分辨率比棱鏡單色器分辨率高（可達±0.2nm），而且它可用的波長范圍也比棱鏡單色器寬，且入射光80%的能量在一級光譜中。近年來，光柵的刻制復制技術也在不斷地改進，其質量也在不斷的提高，因而其應用日益廣泛。
狹縫：狹縫是單色器的重要組成部分，直接影響到分辨率。狹縫寬度越小，單色性越好，但光強度也隨之減少。
濾光片：熒光測量的主要誤差來自雜散光和散射光。消除這些誤差源除用單色器外還可用濾光片。濾光片具有便宜、簡單等優點，因此它在熒光光譜儀中有廣泛的應用。濾光片可分為玻璃濾光片、膠膜濾光片和干涉濾光片三種。本儀器所用的是玻璃濾光片。玻璃濾光片含有各種不同的金屬氧化物，因而呈現不同的顏色。它們透過的光線帶寬較寬，且因受金屬氧化物種類的限制，品種不多。但它具有穩定、經得起長期光照和便宜等優點。
X熒光光譜儀的組成和原理
3.檢測器
檢測器有光電倍增管（PMT）和電荷耦合器件陣列檢測器（CCD）。
PMT是一種很好的電流源，在一定的條件下，其電流量與入射光強度成正比。雖然PMT對各個光子均起響應，但是平時都是測量眾多光子脈沖響應的平均值。
電荷耦合器件陣列檢測器（CCD）是一類新型的光學多通道檢測器，它具有光譜范圍寬、量子效率高、暗電流小、噪聲低、靈敏度高、線性范圍寬，同時可獲取彩色、三維圖像等特點。CCD是一種靈敏的固體成像裝置，一般來說CCD的有效成像面積為1～8cm2。
4.讀出裝置
以前，熒光儀器的讀出裝置有數字電壓表、記錄儀（x～y型或x～t型）和陰ji示波器等幾種。
現今，隨著計算機軟硬件的發展使得人們可以根據不同的需要選擇不同的直觀的視頻讀出方式。