今天將要為大家帶來的是在X熒光光譜儀的4個重要系統裝置：檢測記錄系統、數據處理系統、換氣系統、冷卻系統。
檢測記錄系統
X射線熒光光譜儀用的檢測器有流氣正比計數器和閃爍計數器。（圖1）是流氣正比計數器結構示意圖。它主要由金屬圓筒負極和芯線正極組成,簡內充氬（90%）和甲烷（10%）的混合氣體，X射線射入管內，使Ar原子電離，生成的Ar+在向陰極運動時，又引起其它Ar原子電離，雪崩式電離的結果，產生一脈沖信號，脈沖幅度與X射線能量成正比。所以這種計數器叫正比計數器，為了保證計數器內所充氣體濃度不變，氣體一直是保持流動狀態的。流氣正比計數器適用于輕元素的檢測。
圖1.流氣正比計數器結構
圖2.閃爍計數器結構
另外一種檢測裝置是閃爍計數器（圖2）。閃爍計數器由閃爍晶體和光電倍增管組成。X射線射到晶體后可產生光，再由光電倍增管放大，得到脈沖信號。閃爍計數器適用于重元素的檢測。除上述兩種檢測器外，還有半導體探測器，半導體探測器是用于能量色散型X射線的檢測。這樣，由X光激發產生的熒光X射線，經晶體分光后，由檢測器檢測，即得2θ-熒光X射線強度關系曲線，即熒光X射線譜圖。
數據處理系統
采用計算機及其軟件對X射線強度進行校正并換處成分析元素含量。
換氣系統
為減少大氣對長波X射線的吸收，應有抽真空系統或氦氣置換系統并有穩定地維持其壓力的裝置。
冷卻系統
為使X射線管及高壓電源在工作時處于良好散熱狀態，應有冷卻裝置。一般用水冷卻。側窗靶為陽極接地，可用潔凈自來水；冷卻端窗靶為陰極接地，陽極要用電阻率大于5.0MΩ●cm的去離子水冷卻。