X射線熒光光譜儀具有無損快速檢測的優點，其原理、優點，具體可看。
X射線熒光光譜儀（XRF）由激發源（X射線管）和探測系統組成。X射線管產生入射X射線（一次X射線），激發被測樣品產生X射線熒光（二次X射線），檢測器檢測X射線熒光。元素的原子受到高能輻射的激發，引起內部電子的躍遷，并發射特殊波長的X射線。根據莫斯利定律，熒光X射線的波長與元素的原子序數有關。
根據量子理論，X射線可以看作是由一種量子或光子組成的粒子流，每束光都有一定的能量。因此，只要測量熒光X射線的波長或能量，就可以知道元素的類型，這是熒光X射線定性分析的基礎。另外，熒光X射線強度與相應元素含量有一定關系，可以進行元素定量分析。
X熒光光譜儀
優點：
1.樣品制備簡單，可對固體、粉末、液體樣品進行分析。
2.分析精度高。目前，含量已達到百萬分之一的水平。
3. X射線熒光分析是一種物理分析方法，因此也可以用來分析化學性質屬于同一族的元素。
4.無損分析。不會引起化學狀態的變化和樣品的散射現象。同一樣品可重復測定，重現性好。
5. X射線熒光光譜與樣品的化學結合狀態無關，也與固體、粉末、液體、晶體、非晶等物質的狀態無關。（密封在容器中的氣體也可以被分析）但是在高分辨率精密測量中，我們可以看到波長變化的現象。
6.分析速度快。測定時間與測定精度有關，但通常很短。樣品中的所有元素可在10-300秒內測定。
近年來，X射線熒光光譜法在各行業的應用范圍不斷擴大，已成為冶金、地質、有色金屬、建材、商檢、環保、衛生等領域特別是RoHS檢測領域廣泛應用的檢測設備。