為保證X熒光光譜儀的正常運(yùn)行及檢測(cè)性能，在周期內(nèi)需要對(duì)X熒光光譜儀進(jìn)行校準(zhǔn)，那怎么樣算校準(zhǔn)好了，就需要注意以下兩個(gè)指標(biāo)。
一、分辨率指標(biāo)
分辨率是檢驗(yàn)儀器性能的重要指標(biāo)之一，在能譜儀中通常用能量高斯分布曲線的半高寬 (FWHM)表示。由于能譜儀對(duì)不同的X射線能量的分辨率不同，為了具有可比性，通常采用Mn元素Kα峰的半高寬表示分辨率，其大小主要取決于探測(cè)器、探測(cè)器統(tǒng)計(jì)漲落、儀器噪聲和漂移等影響因素，其中探測(cè)器自身的工作原理與結(jié)構(gòu)起主要作用。
可接受范圍
X射線熒光能譜儀分辨率的可接受范圍根據(jù)其實(shí)際用途決定。在滿足使用目的的前提下，不必過分地追求其分辨率的高低。在貴金屬首飾檢測(cè)中，對(duì)分辨率要求ZUI高的是Ir，Pt，Au和Hg元素，相鄰元素之間ZUI小的能量差約為360eV，據(jù)此可計(jì)算出Mn元素的ZUI大允許分辨率。
儀器的校準(zhǔn)
二、穩(wěn)定性指標(biāo)
穩(wěn)定性是儀器性能的重要指標(biāo)之一，它反映在相同測(cè)試條件下測(cè)試結(jié)果的重復(fù)性，可用多次重復(fù)性測(cè)試的計(jì)數(shù)或者檢驗(yàn)結(jié)果的標(biāo)準(zhǔn)偏差表示。影響能譜儀穩(wěn)定性的因素主要有電源的穩(wěn)定性、環(huán)境溫度的變化、激發(fā)源的穩(wěn)定性以及統(tǒng)計(jì)計(jì)數(shù)等。
可接受范圍
穩(wěn)定性是檢測(cè)結(jié)果不確定度的重要來源，在提出校準(zhǔn)結(jié)論時(shí)需要給出相應(yīng)的不確定度。檢測(cè)結(jié)果的不確定度是表征檢測(cè)能力的一個(gè)重要參考，客戶可由此判斷檢測(cè)結(jié)果的可靠程度。因此，各使用單位應(yīng)根據(jù)實(shí)際情況制訂一個(gè)穩(wěn)定性的可接受程度，建議X射線熒光能譜儀的穩(wěn)定性指標(biāo)應(yīng)不超過5‰。
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