X射線熒光檢測(cè)技術(shù)（XRF）是一種快速分析手段，是相關(guān)部門的一種可行的、低成本并且可提供及時(shí)的檢測(cè)、篩選和控制有害元素含量的有效途徑。X熒光分析技術(shù)的主要特點(diǎn)在于無需對(duì)樣品進(jìn)行特別的化學(xué)處理，分析快速、方便、測(cè)量成本低等明顯優(yōu)勢(shì)，特別適合用于各類相關(guān)部門作為過程控制和檢測(cè)使用。既然X熒光光譜儀優(yōu)勢(shì)這么大，那一定要做好維護(hù)保養(yǎng)工作，掌握好以下四點(diǎn)：
X熒光光譜儀的內(nèi)部結(jié)構(gòu)
1、臺(tái)式X熒光光譜儀中的核心部件就是高壓 X射線光管。X射線光管對(duì)冷卻水的溫度、壓力、電導(dǎo)率都有嚴(yán)格的要求，其ZUI佳冷卻水溫為 22℃～24℃，一般不能超過 30℃，超過 35℃則使用壽命會(huì)大大降低。內(nèi)部循環(huán)水用于冷卻陽極靶附近的光管頭部分，因此要求內(nèi)部循環(huán)水為電導(dǎo)率很低的去離子水（必須保證該冷卻水的電導(dǎo)率＜2 μs／cm），以防高壓擊穿導(dǎo)致 x射線光管損壞。
2、分光晶體的作用就是把X射線熒光按波長順序分開成光譜。主要影響分光晶體穩(wěn)定性的因素有溫度、濕度、酸堿度及其他。
3、探測(cè)器性能一般用波高分布曲線的半寬高來衡量，若半寬高增大則說明分辨能力下降，檢測(cè)器品質(zhì)變壞。
4、真空系統(tǒng)也是 臺(tái)式X熒光光譜儀的重要組成部分。我們應(yīng)該定期檢查真空泵油的油質(zhì)和油量，如果發(fā)現(xiàn)油質(zhì)有白色或黑色，就說明油質(zhì)不正常，請(qǐng)迅速更換泵油。
X 射線熒光光譜儀是一款結(jié)構(gòu)復(fù)雜，部件眾多，涉及光譜、化學(xué)、機(jī)械、電控等各個(gè)方面的高技術(shù)儀器，所以，對(duì) X 射線熒光光譜儀的維護(hù)保養(yǎng)需要具備各方面的知識(shí)。我們需要在工作中不斷學(xué)習(xí)，了解相關(guān)知識(shí)，總結(jié)使用及維護(hù)經(jīng)驗(yàn)，這樣才能在使用X熒光光譜儀時(shí)，使其達(dá)到ZUI優(yōu)性能。