濕度過大會對X熒光光譜儀有很大影響，那怎么樣才能減小濕度對儀器的影響呢。
1、除濕機（抽濕機）和空調是目前降低濕度應用最普遍的除濕設備，它們可以在很大程度上減小工作環境空氣中的水分，也是解決電子線路、電子元件、機械部件、光學器件等受潮的最佳方法。當然除濕機里處理出來的水要經及時處理掉。
2、讓X熒光光譜儀長期工作在待機狀態下，利用電子元件自身發出的熱量烘干潮濕的空氣，尤其是保持內部零器件的干燥，可以有效的保持電子線路的絕緣水平。電子元器件就可以在一個穩定的狀態運行，減小電氣參數的飄移現象。
3、光學室盡量保持在高真空狀態，同時工作在恒溫狀態，確保光學室內部光學部件和機械部件不受潮，以避免分析光路的細微偏離。
4、樣品放置最好用密閉干燥的專柜存放，標準樣品存放在密封容器內，容器內可以使用干燥劑進行防潮，可以有效的杜絕霉菌的滋生。
5、增加房屋通風設備，加強室內通風，定期開啟通風設備，以保持實驗室內的空氣循環流通，有利于空氣濕度的調節，也可以減少霉菌繁衍生存。
6、如遇雨季或冬季空氣濕度偏大，可添置加熱或烘烤設備，用遠紅外線烤燈，對易受潮儀器部件進行針對性的烘烤，有條件可在室內相關部位放置加熱設備，盡量趕走室內潮氣，有效降低空氣中的水分，給儀器創造一個良好的工作環境。
保持實驗室環境溫度濕度
7、操作人員養成良好的工作習慣，隨時查看室內溫濕度情況，最好是將溫濕度計放置在可見位置。做好濕度檢查工作，嚴格執行實驗室儀器操作的各項管理制度，預防儀器故障的發生，提高儀器的工作效率。嚴格來說操作室內的空調和除濕機24小時開啟。
8、洗手池、飲水機、冷卻水設備及廢舊污水處理裝置等，應遠離儀器主機。嚴格將干濕區分開，以保持儀器在干燥的環境下工作。
認真做好X熒光光譜儀的維護保養工作，對儀器容易污染的死角必須經常清理，清除多余的灰塵和異物，操作室要經常打掃保持清潔，空調、抽濕機要做到日常排水，房間定期換氣通風，改善室內循環空氣質量，使儀器有一個良好工作環境，這樣可以大大提高儀器和操作員的工作效率。