X射線衍射儀的主要應(yīng)用于物相分析、應(yīng)力測定，它是表征物相的重要手段，嚴(yán)格的說，它能確定某物相存在，卻不能確定某物相不存在，即鑒真易鑒偽難。那么它的檢出限在哪里？
X射線衍射（XRD）做含量分析不準(zhǔn)確，如果非要說檢出限是多少，主要是由儀器的功率和管電流決定，表征元素的含量還是需要用化學(xué)方法測量或原子吸收來做。
XRD的檢測限不能簡單的用%來表示，這和被檢測物質(zhì)的分散度有很大關(guān)系，也就是結(jié)晶度，與物質(zhì)種類也有很大關(guān)系，樣品的質(zhì)量吸收系數(shù)大，檢出限會(huì)高很多。一般其檢出限，在5%左右。
但是，不同的物相，對X射線的吸收不同，則檢出限會(huì)有較大出入。如單質(zhì)硅，一般在1%左右可以檢出，而另一些相，可能10%都難于檢出。
當(dāng)然。在樣品相同的情況下，使用較高的衍射功率，使用較長的掃描時(shí)間效果會(huì)更好。不過，如果要延長掃描時(shí)間，如果延長一兩倍是見不到效果的。
經(jīng)驗(yàn)表明，如果使用常規(guī)的掃描速度能看到某種存在的跡象，那么，再采用1度/min或更慢的速度來掃描。如果使用常規(guī)掃描速度根本都看不到痕跡，就沒有必要再費(fèi)力了。
進(jìn)行半定量分析確實(shí)是很不準(zhǔn)確，而且結(jié)果確實(shí)與晶粒大小相關(guān)。晶粒小的析出相，連檢出都困難，更別說做定量分析了。晶粒小的物相會(huì)使其RIR值增大，曾做過CeO2的RIR值，在不同的溫度下的產(chǎn)物，其RIR值相差10倍。
X射線衍射的光學(xué)原理
例子：
一個(gè)金剛石樣品被銀污染了，用XRD測出的譜中出現(xiàn)了銀的峰，而且非常明顯，通過定量計(jì)算，發(fā)現(xiàn)樣品中存在0.04%wt的銀。為了進(jìn)一步證實(shí)，用光譜分析，結(jié)果是0.038%wt的銀確實(shí)存在。
通過上面的分析，我們不妨給檢出限加幾個(gè)定語：一定的儀器（主要是功率大小和靶材種類）一定的實(shí)驗(yàn)條件，這主要是指掃描速度，另外，還有狹縫大小，一定的樣品。不同的物質(zhì)對X光的吸收能力存在很大的區(qū)別，微量相的分布狀態(tài)，取向性和應(yīng)力等都會(huì)影響結(jié)果。