X熒光光譜儀分為波長X熒光光譜儀和能量色散X熒光光譜儀，其中X射線管作為激發(fā)樣品的重要光源。
X射線管是一種高壓真空二極管，它包括發(fā)射電子的陰極和一個(gè)接收電子的陽極（靶）。由燈絲加熱鎢絲，產(chǎn)生的電子云在陽極和燈絲間所加電位差的作用下，沿聚焦管被加速飛向陽極靶，所獲X射線的很大一部分穿過窗口射出。陰極套用與吸收無用的散射電子并擋住從燈絲發(fā)出的鎢擴(kuò)散。
為盡可能減少管窗對(duì)X射線的吸收，窗口用輕元素鈹制成，為提高長波X射線的透射率，還應(yīng)使用盡可能薄的鈹窗。鈹窗的厚度取決于靶原子系數(shù)，鎢靶窗通常厚1~2mm，鉻靶窗可薄至0.2~0.5mm。
創(chuàng)想儀器?能量色散型X熒光光譜儀
波長色散X射線熒光光譜儀的X射線管有以下特點(diǎn)：
小功率化：X射線管的小功率化不僅使X射線管自身的體積縮小，而且無需外冷卻水循環(huán)系統(tǒng)。用于波長色散X射線熒光光譜儀的X射線管功率已減至1kV或更低。
鈹(Be)窗超薄化：X射線管的鈹窗厚度一般為 75~ 125μm，有的X射線管的鈹窗厚度僅有30μm，這樣大大提高了初級(jí)X射線的透射率；
X光管端窗“超銳”化：這種“超銳”X射線管外形獨(dú)特，頭部尖細(xì)，內(nèi)部采用陶瓷絕緣，其設(shè)計(jì)更加緊湊、合理、精確。窗口至樣品的距離較常規(guī)端窗管短（約16mm），大大提高了X射線輻照強(qiáng)度。而且，由于采用優(yōu)良的絕緣和長壽命的燈絲，延長了X射線管的使用壽命。
X光管雙靶化：為了使輕重元素都能獲得ZUI佳激發(fā)效率，一些儀器廠家將X光管設(shè)置成雙靶型。
X射線管，作為X熒光光譜儀中的激發(fā)樣品的單元，是一個(gè)重要的零部件。