隨著社會的進步，科技的發展，環境保護成了所有人關注的對象。而自70年代開始，計算機技術的飛速發展，X射線熒光光譜分析儀器、分析技術和應用軟件也得到全面發展。分析精度、靈敏度和準確度進一步提高，所需標樣數也逐漸減少，可分析的元素范圍越來越廣，檢出限越來越低，所以X熒光光譜法也逐漸應用于環境分析中。
1.土壤分析
如果按照常規的方法來分析的話，土壤樣品中的金屬分析大多數需采用濕法消解，消解過程要用到大量的酸，需要根據不同的待測元素采用不同的酸體系消解樣品。處理過程復雜，并且分解的酸蒸氣對分析人員的健康有一定程度的損害，對環境造成污染。更重要的是濕法消解的樣品重復性、精確度和準確度都比較低。在處理的過程中受試劑的純度、消解溫度計消解充分與否的影響，分析的時間長，很難滿足日益增多的分析任務。
但是現在用X射線熒光光譜分析法測定土壤樣品中的金屬元素就簡單很多。當分析土壤樣品中的痕量金屬元素時，用粗天平稱取粒徑小于0.074mm的樣品4g，放入模具中，在241.59MPa下壓制成型以供上機測量使用；分析土壤樣品中的主量元素時，準確稱取樣品1.500g±0.003g，助溶劑6.500g±0.003g于鉑金坩堝中，攪拌均勻后在熔樣機上高溫熔融，然后迅速將熔融物倒入鉑金模具中，樣品冷卻后上機即可測定出多種元素的濃度值。此法操作簡單快速，不對環境造成二次污染、準確度、精密度和重復性都很好。
環境檢測
2.海底沉積物分析
海洋沉積物的常規分析方法和土壤樣品比較形式，都需要用大量的酸，會對環境和分析人員造成一定的損害。而用XRF分析法測定簡便，靈敏度高，準確度好，能較好地解決海洋沉積物樣品中多元素快速分析的問題。
3.空氣顆粒物分析
空氣中的顆粒物用大氣采樣器采集于濾膜后，直接用X射線熒光光譜分析法的膜分析程序分析即可得到空氣中顆粒物中金屬的濃度，分析速度快，由于分析過程不會破壞濾膜，所以就減少了濾膜本身對測定的干擾，使測定更加準確。
另外，在X射線熒光光譜分析法中，在沒有標樣的情況下可以運用IQ+半定量程序來分析樣品，這樣就改變了過去只能在有標樣的情況下才能分析的未知樣品狀況。
面對日益繁重的環境監測任務，X射線熒光分析法越來越凸顯其優勢。