X熒光光譜儀（XRF）是可以對多元素快速同時測定的儀器。在X射線激發(fā)下，被測元素原子的內(nèi)層電子發(fā)生能級躍遷而發(fā)出次級X射線（即X-熒光）。波長和能量是從不同的角度來觀察描述X射線所采用的兩個物理量。一般可能只知道能量色散X熒光光譜儀，那偏振式能量色散X熒光光譜儀又是什么。
普通能量色散X熒光采用低功率X射線管，又采用濾光片扣除背景和干擾，其背景偏高，分辨率偏小，使得應(yīng)用范圍受到限制，特別是在輕元素的分析受到限制。
偏振器
隨之X射線偏振器的誕生，產(chǎn)生了一款新型的能量色散X熒光光譜儀，既偏振式能量色散X熒光光譜儀ED（P）-XRF，再加上SDD探測器的使用，不僅提高了（相對使用正比計數(shù)管和Si（PIN）探測器的儀器）的分辨率，免去Si(Li)探測器使用液氮冷卻的繁瑣和危險，填補(bǔ)了原來普通能量色散X熒光的輕元素檢出限高，分辨率差的缺陷，又使得（相對波長色散X熒光用戶）購買和使用X熒光儀器的成本大大減低，這使得偏振式能量色散X熒光光譜儀ED（P）-XRF在分析領(lǐng)域的迅猛發(fā)展，越來越受到廣泛關(guān)注。
普通能量色散型熒光光譜儀（ED-XRF）是通過濾光片得到背景相對較低的X射線，照射樣品發(fā)射X熒光，X熒光借助高分辨率敏感半導(dǎo)體檢測器與多道分析器將未色散的X-射線按光子能量進(jìn)行色散，根據(jù)各元素特征能量的強(qiáng)度高低來測定各元素的量；而偏振式能量色散X熒光光譜儀ED（P）-XRF是采用偏振次級靶，得到單色的X射線照射樣品，再X熒光借助高分辨率敏感半導(dǎo)體檢測器與多道分析器將未色散的X-射線按光子能量進(jìn)行色散，根據(jù)各元素特征能量的強(qiáng)度高低來測定各元素的量，這就大大提高了儀器的信噪比，提高了能譜儀分析輕元素的能力。