能量色散X熒光分析儀作為X熒光光譜系列產(chǎn)品中的重要組成部分，其在目前檢驗(yàn)檢測領(lǐng)域占據(jù)了重要作用。
能量色散X熒光分析儀不采用晶體分光系統(tǒng)，用半導(dǎo)體檢測器的高分辨率并配以多道脈沖分析器，直接測量試樣X射線熒光的能量，使儀器的結(jié)構(gòu)小型化、輕便化。其主要優(yōu)點(diǎn)是：由于無需分光系統(tǒng)，檢測器的位置可緊挨樣品；檢測靈敏度可提高2~3個(gè)數(shù)量級；不存在高次衍射譜線的干擾。可以一次同時(shí)測定樣品中幾乎所有的元素，分析物件不受限制。儀器操作簡便，分析速度快，適合現(xiàn)場分析。目前主要的不足之處是對輕元素還不能使相鄰元素的Kα譜線完全分開，有的檢測器必須在液氮低溫下保存和使用，連續(xù)光譜構(gòu)成的背景較大。
能量色散X熒光分析儀放棄了體積龐大，價(jià)格昂貴的色散以及測角儀系統(tǒng)，取而代之的用半導(dǎo)體直接對樣品的X熒光進(jìn)行能量分辨。這樣，探測器可以放置在距離樣品很近的位置，使其幾何效率提高2~3個(gè)數(shù)量級，為利用放射性核素源或小功率X射線管提供了條件。由于沒有晶體色散系統(tǒng)，使用低功率激發(fā)源，使EDXRF的價(jià)格不到WDXRF價(jià)格的一半，減輕了重量，提高了便攜性，可以廣泛地用在現(xiàn)場或在線快速測定。
能量色散X熒光分析儀的檢測
能量色散X熒光分析儀是一種高效的分析設(shè)備，但同時(shí)我們也必須注意到它本質(zhì)上仍是一種表面分析設(shè)備，分析厚度在幾微米范圍內(nèi)，當(dāng)被測樣品為均質(zhì)材料，且不要求被測元素化學(xué)形態(tài)的情況下，XRF可以滿足廠家的質(zhì)量控制和RoHS檢測的要求，然而許多材料尤其電子材料多為復(fù)合材料，大部分兒童玩具表面都有漂亮的鍍層等。這方面對于EDXRF廣泛應(yīng)用也提出了一定的挑戰(zhàn)。
由于X熒光分析技術(shù)具有快速、準(zhǔn)確、無需復(fù)雜制樣過程、測量成本極低等突出優(yōu)點(diǎn)，所以X熒光分析儀特別適用于對整個(gè)生產(chǎn)過程中有害元素（鉛、汞、鎘、鉻、溴）的含量進(jìn)行檢測和控制。但對于不同的生產(chǎn)環(huán)節(jié)和生產(chǎn)階段，應(yīng)該結(jié)合不同類型X熒光分析技術(shù)的特點(diǎn)，進(jìn)行有效合理的選擇和配置。
采用能量色X熒光分析儀對多種樣品可進(jìn)行準(zhǔn)確分析，是時(shí)下檢驗(yàn)檢測領(lǐng)域重要的方法。