說起這個X熒光光譜儀呢，要從很久以前說起，這要追溯到125年前......
1895年，德國物理學家倫琴(RoentgenWC)發(fā)現(xiàn)了X射線。1896年，法國物理學家喬治(GeorgsS)發(fā)現(xiàn)了X射線熒光。1948年，弗利德曼(Friedman H. )和伯克斯(Birks LS)首先研制了第一臺商品性的波長色散X射線熒光(WDXRF)光譜儀。1965年，探測X射線的Si(Li)探測器問世了，隨即被裝配于X射線熒光光譜儀上，成為能量色散X射線熒光(EDXRF)光譜儀的核心部件。1969 年，美國海軍實驗室Birks研制出第一臺真正意義上的能量色散X熒光光譜儀。二十世紀七十年代初，EDXRF光譜儀正式跨入儀器分析行業(yè)。與此同時，還相繼出版了多部有關(guān)EDXRF光譜分析的論著。
倫琴和X射線的發(fā)現(xiàn)
近半個世紀以來，隨著半導體技術(shù)和計算機技術(shù)的迅猛發(fā)展。特別是半導體探測器出現(xiàn)和性能不斷地提高，能量色散X熒光光譜儀的生產(chǎn)和應用也達到了快速發(fā)展，其市場占有量也與波長色散X熒光光譜儀平分秋色。目前，我國已有多家研制、生產(chǎn)、組裝能量色散X熒光光譜儀的廠商，其主要性能指標基本接近國際先進水平。能量色散X熒光分析技術(shù)發(fā)展至今，它已成為一門較為成熟的分析技術(shù)。
X熒光光譜分析技術(shù)被廣泛用于冶金、地質(zhì)、礦物、石油、化工、生物、醫(yī)療、刑偵、考古等諸多部門和領(lǐng)域，同時已成為對物質(zhì)的化學元素、物相、晶體結(jié)構(gòu)進行試測，對人體進行醫(yī)檢和微電路的光刻檢驗等的重要分析手段，是材料科學、生命科學、環(huán)境科學等普遍采用的一種快速、準確而又經(jīng)濟的多元素分析儀器；能量色散X熒光光譜儀已成為理化實驗室的重要工具，是野外現(xiàn)場分析和過程控制分析等方面的好幫手。