能量色散型X熒光光譜儀是X熒光光譜儀系列中一種應用更常規的儀器。更適合企業的常規測量。但是我們在使用過程中，也需要時刻注意誤差。我們按其不同性質歸為三大類，分別為系統誤差、隨機誤差與過失誤差。
(1)系統誤差
由于在能量色散型X熒光光譜儀測定過程中某些固定的原因，造成測定結果經常性偏高或偏低，出現比較恒定的正誤差或負誤差，這種誤差稱為系統誤差，或者稱為固定誤差、可測誤差，它是測定結果中的主要誤差來源。系統誤差的特點是，這種誤差在測定過程中按一定規律重復出現，并具有一定的方向性，表現為測定結果經常性偏高或偏低，增加測定次數并不能減少系統誤差。正因為系統誤差往往由確定的原因所造成，故它可以被認識，也可以被修正，而使系統誤差得以消除或減少。
系統誤差
(2)隨機誤差
隨機誤差又稱偶然誤差或不可測誤差，它是在測定過程中一些難以控制的偶然因素所引起的。所謂偶然因素，是指它對測定結果的影響變化不定，誤差時正時負，時大時小，這種誤差無法確定，也無法校正。隨機誤差在測定操作中總是不可避免的，但隨著測定次數的增加，就可發現測定數據分布呈現下述規律性。
對稱性。值相等而符號相反的誤差出現的次數大致相等，也就是說，測定值以它們的算術平均值為中心呈對稱分布。
有界性。在一定條件的有限測定值中，其誤差值不會超過一定界限。
單峰性。值小的誤差出現的次數多，大誤差出現的次數少，特大誤差出現的次數更少，也就是說，隨機誤差以測定值的算術平均值為中心相對集中地分布。
抵償性。在一定條件下，對同一個量的測定，隨機誤差的算術平均值隨測定次數的增加而趨近于零。也就是說，隨機誤差平均值的極限值為零。
對稱性、單峰性、有界性及抵償性，也就是隨機誤差所具有的基本特性。
(3)過失誤差
過失誤差也稱粗大誤差或疏忽誤差。這是在能量色散型X熒光光譜儀測定過程中，由于人為的差錯，使用不合格的計量器具或在不符合標準規定的條件下所產生的誤差。過失誤差無一定的規律性，含有過失誤差的測定結果，反映其數據呈現異常偏大或偏小。只要嚴格地執行有關標準，在測定中仔細小心地操作，過失誤差是不難避免的。
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