X射線熒光光譜儀，其實就是利用檢測熒光強度達到確認樣品中被測元素含量的儀器。原子熒光光度計，顧名思義，也是一款利用檢測熒光強度來達到確認樣品中被測元素含量的儀器。其實，大家都清楚，這是兩款不同的儀器，那他們的區別在哪呢？
首先我們可以參照各自的原理：
首先說X射線熒光光譜儀，“受激發的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統測量這些放射出來的二次X射線的能量及數量。然后，儀器軟件將探測系統所收集到的信息轉換成樣品中各種元素的種類及含量。”
而相比較下，原子熒光光度計呢，“利用硼氫化鉀或硼氫化鈉作為還原劑，將樣品溶液中的待分析元素還原為揮發性共價氣態氫化物（或原子蒸汽），然后借助載氣將其導入原子化器，在氬—氫火焰中原子化而形成基態原子。基態原子吸收光源的能量而變成激發態，激發態原子在去活化過程中將吸收的能量以熒光的形式釋放出來，此熒光信號的強弱與樣品中待測元素的含量成線性關系,因此通過測量熒光強度就可以確定樣品中被測元素的含量。”
雖然都是利用的X熒光，但是真的是區別很大，其中主要是兩點：
一、激發光源方面。原子熒光用的光源很多，如各種激光等，但很少見有用X-射線的；而X射線熒光則是用X射線作激發光源。
二、用途方面。原熒主要用來作定量分析，尤其是金屬元素的定量分析；而X熒主要用來作定性分析和結構分析。當然二者的儀器構造、使用方法、檢測范圍、樣品制備等等都不一樣。
另外原子熒光在檢測過程上，是：樣品，消解，趕酸，5%-10%酸定容，生成氫化物氣體，高溫原子化，光源激發，產生熒光，檢測熒光強度定量。這樣一個過程，它常用于食品化妝品中微量元素檢測，定量級別PPB-PPT。而X熒光，定量級別在PPM級。
以上，大概就是X熒光光譜儀與原子熒光光度計的大體區別了。