X熒光光譜儀作為有效檢測多種類樣品的儀器，能檢測什么形態，固體，液體，又或者氣態也可能。無論是哪種類型樣品，樣品制備的越好，其測量的誤差就越小。
其實對于任何檢測儀器來說，前期樣品處理的越好，測量的精度就會越高，測量結果越可靠。在實際檢測過程中，應該盡量對被測量樣品進行必要的物理處理。
標準樣品的狀態（如粉末樣品的顆粒度、固體樣品的表面光潔度以及被測元素的化學態等）應和被測量樣品的狀態一致，或者能夠經適當的方法處理成一致。被測量樣品在研磨過程中，有可能把樣品中的夾雜物磨掉，造成某些元素分析結果偏低，或者也可能發生表面沾污。
X熒光光譜儀樣品的制備
分析低鋁時，如果使用氧化鋁作磨料，表面就可能被沾污，這時需要采用碳化硅磨料，反之如果分析低硅時，應采用氧化鋁磨料。所以，在分析硅時，應該使用剛玉型的砂紙，在分析鋁時則應該使用金剛砂型的砂紙。對于有色金屬如鋁合金、銅合金等，由于其比鋼鐵試樣軟，不能用砂紙研磨，應該用車床，以保證樣品表面光潔度。
這其實都是因為樣品本身影響了檢測精度，a. 顆粒度；b. 表面粗糙度；c. 偏析；d. 礦物效應；e. 元素間的吸收和增強效應。
X熒光光譜儀的分析作為一種對比分析方法，特別是經驗系數法，測得的X射線強度與相應元素濃度的對應關系完全是建立在標準樣品的基礎之上的，所以必須制備足夠數量的標準樣品，標樣的質量直接決定了分析結果的可靠性。