簡說X射線熒光光譜儀的發(fā)展，主要是說明X射線熒光分析儀的現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢，及其X射線熒光光譜儀的拓展，及X射線熒光測量技術(shù)目前的體現(xiàn)方面。
自1895年德國物理學家倫琴發(fā)現(xiàn)了X射線，1896年法國物理學家喬治( Georgs S)發(fā)現(xiàn)了X射線熒光，1948年弗利德曼(Friedman H)和伯克斯(Birks L S)首先研制了第一臺商品性的波長色散x射線熒光光譜儀以來，X射線熒光光譜分析技術(shù)發(fā)展迅速。尤其是20世紀90年代以來，隨著電子技術(shù)和計算機的飛速發(fā)展，X射線熒光光譜儀和X射線熒光分析技術(shù)及其計算機軟件的不斷開發(fā)，X射線熒光光譜儀現(xiàn)已由單一的波長色散X射線熒光光譜儀發(fā)展成擁有波長色散、能量色散、電子探針、全反射、同步輻射和質(zhì)子X射線光譜儀等一大家族。
創(chuàng)想EDX-6000型臺式X射線熒光分析儀
X射線熒光光譜儀的不斷完善和發(fā)展所帶動的X射線熒光分析技術(shù)已被廣泛用于冶金、地質(zhì)、礦物、石油、化工、生物、醫(yī)療、刑偵、考古等諸多部門和領(lǐng)域。X射線熒光光譜分析不僅成為對其物質(zhì)的化學元素、物相、化學立體結(jié)構(gòu)、物證材料進行試測，對產(chǎn)品和材料質(zhì)量進行無損檢測，對人體進行醫(yī)檢和微電路的光刻檢驗等的重要分析手段，也是材料科學、生命科學、環(huán)境科學等普遍采用的--種快速、準確而又經(jīng)濟的多元素分析方法。同時, X射線熒光光譜儀也是野外現(xiàn)場分析和過程控制分析等方面首選儀器之一。
目前，無論是波長色散X射線熒光光譜儀還是能量色散X射線熒光光譜儀,譜儀測量技術(shù)的進展主要體現(xiàn)在以下幾個方面：數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)智能化、電子元件的大規(guī)模集成化和功能化、功能部件的小型化和一體化、譜儀的多功能化、樣品更換自動化、譜儀的調(diào)試和維修遠程化。