X射線的照射面積，當(dāng)在進行測量時，實際就是X射線照射在樣品上進行檢測，那X射線的照射面積，是否和儀器的分辨率產(chǎn)生聯(lián)系，照射面積增加會不會導(dǎo)致分辨率的下降呢？
熒光的照射面積跟測量出來的強度有關(guān)系。分辨率跟分光晶體、準(zhǔn)直器、探測器等有關(guān)系。
照射面積可以通過視野光欄來調(diào)節(jié)，一般有0.5mm、1mm、5mm、10mm、28(30)mm等等。照射面積影響的是樣品出來熒光的強度，面積大，強度大。如果配合線性記數(shù)范圍，結(jié)果會更準(zhǔn)確。
對共聚焦的是面積大強度小。一般的熒光都是面積大而強度大的，比如說測試某一樣品中的Si，用30mm的視野光欄時，強度為1000kcps，當(dāng)用1mm時，強度就只有1個多kcps了。照射面積的大小直接影響測試結(jié)果的準(zhǔn)確性，因為強度相同的情況下，照射面積大，檢測器檢測到的信號越多，準(zhǔn)確度應(yīng)該高些。
對于短窗型X射線設(shè)計而言，照射面積加大，效果比較好一點，比如說一些可調(diào)光斑面積的X射線系統(tǒng)，5MM光斑的測試效果比10MM的測試效果差很多；對于聚焦型X射線管而言，加大面積，單位照射強度降低，效果就比較差，比如說HORIBA的1.2MM的光斑，如果增加到12MM的光斑的話，效果就沒有1.2的好。
影響分辨率的主要是準(zhǔn)直器，分光晶體和探測器，準(zhǔn)直器越小分辨率越高，彎晶分辨率高于平晶。探測器分辨率主要跟材料的物理性質(zhì)有關(guān)。