X熒光光譜儀分析檢測(cè)方法是一種應(yīng)用相當(dāng)廣泛的儀器，無(wú)論對(duì)于固體、液體、粉末，更甚至于對(duì)空氣也可進(jìn)行檢測(cè)分析。
關(guān)于對(duì)X熒光光譜儀的分析方法，它是可以定性定量分析的方法。
X熒光光譜儀定性分析。不同元素的熒光X射線(xiàn)具有各自的特定波長(zhǎng)或能量，因此根據(jù)熒光X射線(xiàn)的波長(zhǎng)或能量可以確定元素的組成。如果是波長(zhǎng)色散型光譜儀，對(duì)于一定晶面間距的晶體，由檢測(cè)器轉(zhuǎn)動(dòng)的2θ角可以求出X射線(xiàn)的波長(zhǎng)入，從而確定元素成份。對(duì)于能量色散型光譜儀，可以由通道來(lái)判別能量，從而確定是何種元素及成份。
X熒光光譜儀定量分。X射線(xiàn)熒光光譜法進(jìn)行定量分析的根據(jù)是元素的熒光X射線(xiàn)強(qiáng)度Ii與試樣中該元素的含量Ci成正比：Ii=Is×Ci式中Is為Ci=100\%時(shí)，該元素的熒光X射線(xiàn)的強(qiáng)度。
X熒光光譜儀的多種檢測(cè)
X熒光光譜儀樣品制備。進(jìn)行x射線(xiàn)熒光光譜分析的樣品，可以是固態(tài)，也可以是水溶液。無(wú)論什么樣品，樣品制備的情況對(duì)測(cè)定誤差影響很大。對(duì)金屬樣品要注意成份偏析產(chǎn)生的誤差；化學(xué)組成相同，熱處理過(guò)程不同的樣品，得到的計(jì)數(shù)率也不同；成份不均勻的金屬試樣要重熔，快速冷卻后車(chē)成圓片；對(duì)表面不平的樣品要打磨拋光；對(duì)于粉末樣品，要研磨至300目-400目，然后壓成圓片，也可以放入樣品槽中測(cè)定。
對(duì)于固體樣品如果不能得到均勻平整的表面，則可以把試樣用酸溶解，再沉淀成鹽類(lèi)進(jìn)行測(cè)定。對(duì)于液態(tài)樣品可以滴在濾紙上，用紅外燈蒸干水份后測(cè)定，也可以密封在樣品槽中。總之，所測(cè)樣品不能含有水、油和揮發(fā)性成份，更不能含有腐蝕性溶劑。
使用X熒光光譜儀對(duì)樣品進(jìn)行分析的檢測(cè)，是一種廣泛應(yīng)用的方法。