影響X熒光光譜儀的檢測(cè)樣品，受到了一些因素的影響，其影響的主要原因在于譜線的干擾，但是譜線的干擾其實(shí)又是由多種原因造成。
1、在X熒光光譜儀分析中，某些元素間可能有全部或者部分譜線重疊。基本參數(shù)方程要求使用沒(méi)有受到譜線重疊影響的凈強(qiáng)度。在這些方程中包含某些經(jīng)驗(yàn)的修正。
2、干擾也可能來(lái)自康普敦譜線或者X射線管中靶材所產(chǎn)生的特征譜線，這些通過(guò)使用濾光輪去除，但同時(shí)也可能導(dǎo)致分析譜線強(qiáng)度的降低。
3、在X射線光譜儀分析中，在某些元素間可能存在元素間干擾或者基體效應(yīng)。來(lái)彌補(bǔ)這些效應(yīng)的經(jīng)驗(yàn)方式就是制備一系列校正標(biāo)樣的曲線，濃度范圍涵蓋要分析的范圍。此時(shí)需要仔細(xì)設(shè)計(jì)的參考物質(zhì)。就是所有不需要分析的元素的含量固定，而要分析的元素濃度不同。這就是所謂基體匹配。當(dāng)然，在X熒光光譜儀分析中可使用數(shù)學(xué)方法來(lái)彌補(bǔ)元素間或者基體的效應(yīng)。
4、X熒光光譜儀分析中，干擾也可能來(lái)自金相結(jié)構(gòu)的誤差，由于分析目標(biāo)元素的密度受到樣品的質(zhì)量吸收系數(shù)的影響，而且數(shù)學(xué)模型假設(shè)的是均質(zhì)物質(zhì)，由此帶來(lái)誤差。例如，在含有碳和碳化物的鋼材中，鈦和鎳可能以鈦鎳化碳合物的方式存在，相比鐵對(duì)于鈦的K-a譜線來(lái)講，其具有較低的質(zhì)量吸收系數(shù)，鈦的密度高于這個(gè)樣品。
5、對(duì)于X射線熒光光譜儀由于分析的固體進(jìn)樣性質(zhì)，以及樣品表面的性質(zhì)可能與標(biāo)樣的差異，導(dǎo)致分析的偏差。
X熒光光譜儀的使用
綜上所述，如果樣品和標(biāo)樣，在密度、結(jié)構(gòu)、成分組成、濃度、表面情況、樣品中待測(cè)試元素的含量是否在標(biāo)樣范圍內(nèi)、每次樣品放置的位置等因素，都會(huì)對(duì)X熒光光譜儀的分析結(jié)果造成影響，避免這些影響的方法就是在檢測(cè)時(shí)保持樣品和標(biāo)樣測(cè)量的一致性，這樣誤差就能盡可能的避免。