X熒光光譜分析技術廣泛的應用在多個領域，但是如果需要得到準確的分析結果，對于以下內容我們需要了解。
X熒光光譜儀分析法和其它大部分分析儀器一樣，是相對分析法。在X熒光光譜儀分析中，測得的X射線強度與相應元素濃度的對應關系完全是建立在標準樣品的基礎之上的，必須制備足夠數量的標準樣品，標樣的質量直接決定了分析結果的可靠性。基本參數法等無標樣分析法一般是用于完全未知樣品的初步分析的，所謂無標樣也只是不需要系列標準樣而已。只要得出數據，就得有一套相對的標準數據，所以，要更好的使X熒光光譜儀，得出更準確的分析結果，高質量的標準樣品是不可缺少的。
X熒光光譜儀的使用
很多人認為，標準樣品自己制備不好，還是買別人的好，其實，事實不是這樣，這是因為由于每個用戶的原料情況、配比是各不相同的，而對于X熒光光譜儀分析而言，標準樣與被測未知樣越相似，測定結果越好，因此為了取得好的分析結果，各用戶應自己配制標樣。標樣的配置應注意幾個問題：
（1）必須主要用生產用原料配制，個別少量組份可用化學試劑；
（2）標樣數目應大于被分析元素個數（至少多兩個）；
（3）標樣中被測元素的含量范圍應完全覆蓋未知樣品相應元素的濃度變化范圍；
（4）標樣中各被測元素的濃度之間不應存在相關性。
通常對工作曲線的定量評價標準主要是相關系數和標準偏差，從數學上來講，相關系數越接近1越好，標準偏差越小越好。但必須先檢查是否符合物理意義，斜率大小是否合適。
如不考慮物理意義就數學結果而選擇影響因子，就無法保證未知樣分析的正確可靠。影響因子的設定應遵循相鄰元素、主元素、濃度變化范圍大的元素、重元素的原則，在此基礎上根據經驗試設。