自20世紀(jì)70年代能量色散X射線熒光光譜儀投放市場(chǎng)以來(lái)，經(jīng)歷了近30年的發(fā)展，能量色散X射線熒光光譜儀已日臻完備，無(wú)論是硬件還是軟件的開發(fā)都與波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜儀基本同步。與早期相比，現(xiàn)代能量色散X射線熒光光譜儀已在以下幾方面獲得較大進(jìn)展：
1.X熒光光譜儀譜儀整機(jī)的一體化、小型化
傳統(tǒng)的管激發(fā)能量色散X射線熒光光譜儀由冷卻水循環(huán)系統(tǒng)。X射線管高壓發(fā)生器和測(cè)量系統(tǒng)三大部分組成?，F(xiàn)代能量色散X射線熒光光譜儀已去掉了冷卻水循環(huán)系統(tǒng)，將X射線管高壓發(fā)生器和測(cè)量系統(tǒng)融為一體，做到了輕便、靈活。
2.X射線管
用于管激發(fā)能量色散X射線熒光光譜儀的X射線管功率小于或近于100W， 最大X射線管電流小于1mA。
3.高壓發(fā)生器
X熒光光譜分析儀的高壓發(fā)生器采用高頻變換高壓發(fā)生器，所產(chǎn)生的高壓大于50kV。這種高壓發(fā)生器。比用于波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜儀的高壓發(fā)生器更具有體積小重量輕、耗能低、噪音小等特點(diǎn)。
4.探測(cè)器
a)對(duì)于高分辨探測(cè)器，不僅限于Si(Li)探測(cè)器，現(xiàn)在還開發(fā)出了Ge探測(cè)器，這些半導(dǎo)體探測(cè)器都可在室溫環(huán)境中存放，工作時(shí)采用液態(tài)氮或電致冷。
b)超薄型鈹( Be)窗：Si(Li) 探測(cè)器的鈹(Be)窗一般為75~125μm，大大提高了測(cè)量輕元素的靈敏度。
c)高分辨：測(cè)量MnKa 5.9keV 線的能量半高寬小于150eV。