ICP光譜分析儀，即電感耦合等離子體光譜儀，是光譜儀的一個分支，主要用于檢測微量及痕量元素的分析，可分析的元素為大多數的金屬元素。其可廣泛用于稀土、貴金屬、合金材料、電子產品的分析檢測，并且可對待測樣品進行定性或從超微量到常量的定量分析。
將石英炬管置于高頻感應線圈中，等離子工作氣體（通常為氮氣）持續從炬管內通過，在感應線圈上施加高頻電場時，使用一個感應線圈產生電火花觸發少量氣體電離（或將石墨棒等半導體插入炬管內，使其在高頻交變電場作用下產生焦耳熱而發射熱電子），產生的帶電粒子在高頻交變電磁場的作用下高速運動，碰撞氣體原子，使之迅速大量電離，形成“雪崩”式放電。電離了的氣體在垂真于磁場方向的截面上形成閉合環形路徑的渦流，在感應線圈內形成相當于變壓器的次級線圈并同相當于初級線圈的感應線圈耦合，這股高頻感應電流產生的高溫又將氣體加熱，電離，并在管口形成一個火炬狀的穩定的等離子體焰炬。這就是ICP光譜儀光源的形成方式。
ICP光譜分析儀的應用
同樣的，ICP光譜分析儀的特點是：
(1)ICP的工作溫度比其他光源高。
(2)由ICP形成形成過程可知，ICP是渦流態的，且在高頻發生器頻率較高時，等離子體因趨膚效應而形成環狀。
(3)ICP中電子密度很高，所以堿金屬的電離在ICP中不會造成很大的干擾。
(4)ICP是無極放電，沒有電極污染。
(5)ICP的載氣流速較低，有利于式樣在中央通道中充分激發，而且耗氧量也較少。
(6)ICP一般以氬氣作工作氣體，由此產生的光譜背景干擾較少。
ICP光譜分析儀作為微量及痕量元素分析的重要手段，就是這樣的儀器。