X熒光光譜儀作為分析實(shí)驗(yàn)室常用的一款儀器，根據(jù)檢測(cè)素材的不同，選擇合適自己的儀器。真空型X熒光光譜儀，相比普通型，其性能更好，但因?yàn)檎婵障到y(tǒng)的存在，其維護(hù)也稍顯復(fù)雜。
例如，創(chuàng)想儀器的EDX-9000真空型X熒光分析儀，配備真空測(cè)試系統(tǒng)，其有效增加了元素測(cè)試范圍，探測(cè)器配備SDD的測(cè)試系統(tǒng)，特別是提高了Na、Mg、Al、Si 等輕元素的檢出限，提高了精確度，同時(shí)在測(cè)試 Cd/Pb/Cr/Hg/Br/Cl 等其他元素的重復(fù)性穩(wěn)定性有了明顯的提高。
真空系統(tǒng)是X熒光分析儀的重要組成部分。儀器工作時(shí)，光譜室被抽成真空狀態(tài)以減少空氣對(duì)X射線(xiàn)的干擾，提高儀器的分辨率。
真空系統(tǒng)容易出問(wèn)題的地方主要有3部分：真空泵、樣品室、光譜室。分析樣品時(shí)，在快門(mén)打開(kāi)之前真空泵是與樣品室相通的。當(dāng)采用壓片法進(jìn)行分析時(shí)，由于抽真空會(huì)使一部分粉末抽到樣品室內(nèi)，因此應(yīng)該定期（一個(gè)季度一次）對(duì)快門(mén)臺(tái)和樣品室進(jìn)行拆卸和清洗。另外，由于X射線(xiàn)的長(zhǎng)期照射，快門(mén)的O形密封環(huán)會(huì)慢慢失效，因此需要一年更換一次。光譜室常見(jiàn)的漏氣部位是流氣計(jì)數(shù)器，流氣計(jì)數(shù)器安裝在光譜室內(nèi)，如果它的窗膜很薄、漏氣，就會(huì)影響光譜室真空。對(duì)于真空泵主要是應(yīng)該定期檢查真空泵油的油質(zhì)和油量，檢查油質(zhì)時(shí)如果有白色或黑色就說(shuō)明油質(zhì)不正常，應(yīng)該立即更換泵油。
此外在檢查真空故障，拆卸和安裝各部件時(shí)要小心操作，不要讓灰塵或頭發(fā)掉到密封圈上，以避免產(chǎn)生新的漏氣點(diǎn)，安裝時(shí)可以在密封部位涂一點(diǎn)真空油脂。
真空型X熒光光譜儀，使用戶(hù)的樣品檢測(cè)提供了更多的數(shù)據(jù)，提高了多種元素的檢出限。