對于光電直讀光譜儀的維護過程，簡單來說就是對光電直讀光譜儀4大模塊的維護，同樣的我們分4大部分分別講解。
激發系統
1.激發能量：能量提供的方式不同，如直流電弧、火花的激發效果是不同的，火花中的激發脈沖寬度、脈沖高度、脈沖頻率不同對于不同元素的激發效果亦不同，因此在不同型號的儀器中，需根據所測樣品的實際情況，慎重選擇激發能量參數。
2.激發環境：一般主要可分為實驗室濕度環境和氬氣氣氛兩方面，不同型號儀器的氬氣氣路設計可能會有不同，不過氬氣本身的純度和氣路是否漏氣應當是對激發環境檢查和維護的重點。
3.樣品：樣品的材質、取樣、前處理等各方面，均對激發效果影響重大，在使用和維護時，需特別注意我們的激發對象的狀態，是否符合要求。
4.激發臺內部情況：不同型號的儀器的激發臺內部結構不同，但總體來講，激發臺內部是否清潔、電極極矩是否穩定，激發臺發光弧焰相對于光學系統的高度等，均會影響我們的數據結果。
總之，對于不同型號，不同廠家的儀器來說，此4條因素的實現形式可能略有不同，但是總體上維護和維修激發系統的方向在此。
1.光路結構穩定，機械變形小，校正到位：可通過恒溫和狹縫掃描來控制。
2.光路中，對于紫外、真空紫外區光譜線在光室中的傳輸過程中損耗小：可通過氣循環或抽真空的方式進行維護，那么，對真空泵器件的維護成為重點，此外，透光鏡片的定期擦拭也成了保證光信號傳輸效率穩定的重要操作。
對于不同型號的儀器來說，光學系統的穩定和光信號傳輸效率都是很重要的影響因素，因此需根據各儀器的實際情況進行儀器的維護和檢查安排。
測量系統
1.采集器件保持穩定合適的工作狀態：采集器件為光電轉換元件，目前的光電直讀光譜儀主要采用的是兩大類采集器，一種是光電倍增管，另外一種是CCD/CID檢測器（固體成像系統），任何一種采集器件，都存在著一個和照射光強、工作供電以及輸出電信號強度三個方面有關的函數，針對不同的光強，不同的供電，采集器的光電轉換效率，以及它的靈敏度、穩定性都會有很大的影響。所以如需自己調節這些參數，需謹慎咨詢儀器生產商的意見后或嚴格按照儀器說明書進行調整。
2.信號轉換的電路板及芯片不能長期處于潮濕、積灰過多的條件下：大部分電路板、芯片遇到灰塵過多或濕度過大的情況，都會產生漏電現象，這就會在整個測量系統中產生暗電流，當暗電流大道一定程度，有可能造成測量系統電路中的器件損毀的情況。所以務必要保護好儀器的測量系統。有些型號的儀器測量系統置于分光室內部，一般情況下不需考慮。但如出現真空泵油倒吸等情況，需立即和儀器生產商的技術支持聯系。