什么是決定了我們的X熒光光譜儀的分析精度，在光譜儀進行定量分析的時候，有準確度，也有精密度，怎么保證呢？
定量分析的準確度
為了獲得準確的定量分析結果，應注意以下幾點：
a)使用含量數據可靠或經過驗證的標準試料；
b)標準試料與分析試料的組成盡可能一致，制樣方法也應完全相同；
c)為了消除共存元素的影響，要選擇正確的校正方法；
d)分析無素含量不要超出標準試料所限定的范圍；
e)儀器的漂移會導致校準曲線的位移，應在日常分析開始之前先用標準化試料對儀器進行校正。
定量分析的精密度
定量分析的精密度受許多因素的影響，如計數的統計漲落、背景、試料的均勻性和表面缺陷、儀器的穩定性、計數損失等，應按GB1.4的要求，參照GB 6379或YB 949確定分析方法的精密度（重復性，再現性或允許差）。標準定量分析方法的允許差要滿足有關冶金產品標準的要求。
X熒光分析儀定量分析的精度
定量分析地前提是要保證樣品地代表性和均勻性，過度強調分析準確度，而忽視樣品采集方法和采樣理論地研究應用，是不科學、不合理地。只有采集具有代表性地特征樣品，才具有科學價值和實際意義，目前關于采樣理論地研究還有待于深入探討。
要進行定量分析，需要完成三個步驟：首先要根據待測樣品和元素及分析準確度要求，采用一定地制樣方法，保證樣品均勻和合適地粒度，并通過實驗，選擇合適地測量條件，對樣品中地元素進行有效激發和實驗測量，再運用一定地方法，獲得凈譜峰強度，并在此基礎上，借助一定地數學方法，定量計算分析物濃度。