使用X熒光光譜儀進行樣品分析檢測時，會出現有些元素分析不準確，譬如鎘鉛汞溴鉻這些元素，排除了儀器和檢測手法的問題，那是什么原因？我們需要考慮到元素之間的干擾問題。
在熒光分析時存在了很多的干擾元素，每一種需要測試的元素都會受到其它某些元素的影響。 如鉛分析過程中常出現砷干擾，汞分析過程中常出現鍺和錸干擾。根據經驗所得，常見的干擾有：Cd（Br/Pb/Sn/Sb），Pb（Br/As），Hg（Br/Pb/Fe/Ca），Cr（Cl ），Br（Fe/Pb）。
同時使用兩條以上的特征線進行測分析。例如Pb，需要選取PbLa和PbLb這兩條譜線進行測試和判斷。一般情況下，如果Pb真達到了測試結果，那么依此兩條特征線所得數值都應該接近，在譜線圖上也同時會顯示出波峰，如果這兩條譜線其中有一個沒有波峰或兩個都沒有波峰，那么顯然測試結果是受到其它元素的干擾而引起的誤判。如果PbLa和PbLb這兩條譜線的測試結果相差太大，那么偏大的那條曲線就是受到了其它元素的干擾。選取測試結果時就以數值小的為準。其它元素也可以依據同樣的方法進行判斷。這個方法可以一定程度地去除元素之間的干擾。
X熒光光譜儀的廣泛應用
另外，關于共存元素的影響，在儀器軟件內包含定性分析選單，如要確定測試的樣品里面包含有哪些元素，那么就可以用以下方法作。用Pb來做例子，因為PbLa的特性是受AsKa峰干擾較大，對Br、Bi有少量的重疊，而PbLb的受FeKa、SeKb峰的干擾較大，與Br、Bi有重疊，那么如果你是測試塑料，樣本中可能含有Br(只是可能)，則我們就不能用PbLb的數據作為測試結果，而需要用PbLa的測試數據作為測試結果，因為PbLa 受到Br的影響比較少，測試出來的數據比較準確。如果用PbLb，那么這時候的數據就一般會偏大。其它元素也可依此處理。
正確的處理，可有效去除元素之間的干擾問題，提高檢測準確性。