在X熒光光譜儀中，對于檢測方面，同樣是會用到探測器，在其中，正比計數器（封閉式或流氣式）、閃爍計數器和固體計數器是X射線光譜分析中常用的三種探測器。這三種探測器均根據脈沖的電子放大原理工作。探測器每次吸收一個X射線光子，就形成個電脈沖。
正比計數器
正比計數器是以某種氣體（如氙、氦、氬或甲烷等）吸收入射的X射線光子而形成電脈沖的。
由于篇幅有限，在這邊我們先說一下封閉式正比計數器。
這種探測器適宜探測波長小于2~3埃的X射線。其中心線極(陽極)與金屬管殼(陰極)是絕緣的，而且可耐1500~ 1800伏的正高壓。為了操作安全，金屬殼接地。探測器出、入射窗口，均由云母或鈹片做成。當波長大于2.0埃的輻射通過時，不產生顯著的吸收。設置出射窗口的目的是，使未被氣體吸收的輻射穿過探測器時，不碰撞金屬殼而形成假脈沖。
X射線光子進入探測器時，可能遇到兩種不同方式的吸收，其一是，以入射光子轟擊氣體原子的內層電子，產生標志該原子的特征X射線（熒光）光子從而引起“逸峰”現象，發生這種吸收的可能性最小；其二是，入射光子轟擊氣體原子的價電子，并將其能量幾乎全部轉變為該電子的動能，發生這種吸收的可能性最大。一個能量為8千電子伏特的CuKa光子，可從氙原子中逐走一個價電子，其剩余能量（8千電子伏特減去氙的電離電位）全部交給該電子，變成其動能。這個獲得動能的電子，又使其它氙原子電離，從而引起若干電離對,即正離子和電子。
計數器中，氣體原子電離后，正離子被引向管殼而復合，電子則飛向中心線極。每個起始電子，在正高壓的加速下，均能獲得足夠的能最迫使其它氣體原子電離，每個新產生的電子又使更多的氣體原子電離，這個過程稱謂雪崩放電。由一對起始電離所引起的一次放電大約能夠產生10^4個電子，沖擊中心線極。這種放電過程發生在X射線光子被吸收后大約0.1~0.2微秒的時間內。在這樣短的時間內，有大量的雪崩放電沖擊中心線極，使高壓瞬時降落。這種電位降以脈沖形式，經電容器輸入放大電路和測量電路。在中心線極電壓的恢復過程中(約1微秒)，探測器對另一個入射的X射線光子不發生響應。這個時間叫做探測器的“死時間”。
由于初始電離對數與X射線光量子能量間的線性關系和電路的線性放大，測得脈沖的幅度與X射線光子的能量成正比，因而得名正比計數器。